آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک

۶_۲

 

معرفی آزمایشگاه

c

آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک دارای سه دهه تجربه در زمینه ارائه خدمات تخصصی لایه نشانی لایه نازک با دقت نانومتر می باشد. این مجموعه هم اکنون مجهز به سیستم های لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ، الکترون گان، تبخیر مقاومتی حرارتی، اتاق ها و میزهای تمیز، کوره عملیات حرارتی، دستگاه اندازه گیری رسانایی الکتریکی لایه های نازک ( Four Point Probe ) و دستگاه اسپکتروفتومتر است.

خدمات و توانایی های تخصصی 

۲

پوشش دهی با انواع لایه های نازک فلزی و دی الکتریک به روش های ذیل:

– تبخیر حرارتی مقاومتی

– تبخیر حرارتی با تفنگ الکترونی

۵

– مگنترون اسپاترینگ DC

– راکتیو اسپاترینگ

۳_۳

مجهز به کامل ترین بانک انواع تارگت های فلزی و دی الکتریک شامل:

Al, Ti, Mo, Cr, Co, Cu, Ni, Fe, Zn, ITO, ZrO٢, ZnO, MgO, AZO, Al٢O٣, Zr, Sn, SiO٢, C, TiO٢, . . .

مجهز به بانک انواع پودر، شمش، قرص و دانه های فلزی و غیرفلزی شامل:

MgF٢, TiO٢, Cr٢O٣, SiO٢, Pt, Sn, Cr, Ni, Al, Pb, In, Ag, Au, . . .

عملیات حرارتی بر روی لایه های نازک در اتمسفر گازهای آرگون، نیتروژن و اکسیژن با قابلیت برنامه ریزی در ٩ برنامه

٩ مرحله ای تا ١٢٠٠ درجه سانتی گراد

۴_۱

اسپکتروفتومتری:

اندازه گیری طیف عبور، بازتاب و جذب برای تمام لایه های فلزی و دی الکتریک در گستره طول موج ٢٠٠ تا ١١٠٠ نانومتر

فتولومینسانس، رنگ سنجی و غلظت سنجی

اندازه گیری ضخامت و طیف پاشندگی لایه های دی الکتریک

۶_۲

تلفن:  ۶۶۰۷۵۱۵۶  و  ۶۶۰۲۸۱۹۴                                      پست الکترونیکی: microelectronic@jdsharif.ac.ir

2 نظر

ضمن تشکر از امکانات لایه نشانی آلومینیوم آیا لایه نشانی روی شیشه کروی وسهموی جهت ساخت آینه تلسکوپ بویژه در قطرهای ۳۰ الی ۳۵ سانتیمتر ویا بیشتر در این مرکز مقدور می باشد ونحوه درخواست خدمت مربوطه ونحوه ارسال شیشه ودریافت ان وهزینه های مربوطه چگونه است با تشکر محمود یونسیان شهرستان بناب

پاسخ دهید

*