آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک

 

معرفی آزمایشگاه

c

آزمایشگاه لایه نشانی لایه نازک دارای سه دهه تجربه در زمینه ارائه خدمات تخصصی لایه نشانی لایه نازک با دقت نانومتر می باشد.
این مجموعه هم اکنون مجهز به سیستم های لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ، الکترون گان، تبخیر مقاومتی حرارتی، اتاق ها و میزهای تمیز، کوره عملیات حرارتی و دستگاه اسپکتروفتومتر است.

 

خدمات و توانایی های تخصصی 

• پوشش دهی با انواع لایه های نازک فلزی و دی الکتریک به روش های ذیل:
– تبخیر حرارتی مقاومتی۲
– تبخیر حرارتی با تفنگ الکترونی
– مگنترون اسپاترینگ DC
– راکتیو اسپاترینگ
• مجهز به کامل ترین بانک انواع تارگت های فلزی و دی الکتریک شامل:
Al, Ti, Mo, Cr, Co, Cu, Ni, Fe, Zn, ITO, ZrO2, ZnO, MgO, AZO, Al2O3, Zr, Sn, SiO2, C, TiO2, . . .
• مجهز به بانک انواع پودر، شمش، قرص و دانه های فلزی و غیرفلزی شامل:۳_۳
MgF2, TiO2, Cr2O3, SiO2, Pt, Sn, Cr, Ni, Al, Pb, In, Ag, Au, . . .
• عملیات حرارتی بر روی لایه های نازک در اتمسفر گازهای آرگون، نیتروژن و اکسیژن با قابلیت برنامه ریزی در ۹ برنامه۹ مرحله ای تا ۱۲۰۰ درجه سانتی گراد
• اسپکتروفتومتری:
– اندازه گیری طیف عبور، بازتاب و جذب برای تمام لایه های فلزی و دی الکتریک در گستره طول موج ۲۰۰ تا ۱۱۰۰ نانومتر
– فتولومینسانس، رنگ سنجی و غلظت سنجی
– اندازه گیری ضخامت و طیف پاشندگی لایه های دی الکتریک

 

 

۴_۱

تلفن: ۶۶۰۷۵۱۵۶ و ۶۶۰۲۸۱۹۴

پست الکترونیکی: microelectronic@jdsharif.ac.ir

 

 

3 نظر

با سلام و احترام
لطفا پاسخ مقتضی را ارایه فرمایید
سوال ۱
ایا امکان لایه نشانی Tio2
با مگنترون اسپاترینگ در آن مرکز فراهم می باشد؟
بنده می خواهم اینکار تحت شرایط فیزیکی مختلف صورت پذیرد مانند
۱- با ثابت نگهداشتن پارامترهای موثردر لایه نشانی از قبیل فشار ، دمای زیر لایه ، توان دستگاه و …فقط با تغییر فاصله تارگت تا زیر لایه مثلا یک ضخامت مشخص ۱۰۰ نانومتر لایه نشانی شود
۲- به همین ترتیب این عمل برای سایر پارامترها که یکی تغییر نموده و بقیه فاکتور ها ثابت بماند انجام شود
۳- با ثابت نگهداشتن پارامترها ضخامتهای مختلف لایه نشانی شود

سوال ۲
هزینه ها به چه صورت می باشد
سوال ۳
اگر تارگت از خودمان باشد هزینه ها به چه صورت است
لطفا راهنمایی فرمایید
با تشکر

پاسخ دهید

*