آزمایشگاه میکروالکترونیک

 

h

آزمایشگاه میکروالکترونیک، دارای بیش از سه دهه تجربه در ارائه خدمات تخصصی در زمینه های میکرولیتوگرافی، ساخت انواع رتیکل، ساخت انواع نمونه های مهندسی و برش های دقیق می باشد.

 

۲_۴

این مجموعه مجهز به سیستم های تنظیم ماسک ، Spin coater، اتاق ها و میزهای تمیز، میکروسکوپ های کنترل کیفیت و تجهیزات برش و بسته بندی از قبیل Wire Bonder و Probe Station می باشد. همچنین به دلیل تعامل گسترده این مرکز با اغلب مراکز پژوهشی و دانشگاه های کشور، امکان دریافت خدمات دیگر نیز در این مرکز فراهم است.

در این آزمایشگاه با تأکید بر روی تکرارپذیر و قابل اطمینان کردن فرآیندهای مختلف، امکان تولید نیمه صنعتی نمونه های مهندسی فراهم شده است.

خدمات و توانایی های تخصصی

۳_۴

ارائه خدمات میکرولیتوگرافی بر روی لایه های نازک فلزی و دی الکتریک با دقت بالا در زمینه های زیر:

– میکروالکترونیک: ساخت انواع سنسورها، ریزمقاومت ها و …

– آپتوالکترونیک و اپتیک: ساخت انواع انکودر، پین هول، توری، شکاف، موجبرها و …

– سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS و BioMEMS ): ساخت Saw Filter، شتاب سنج مکانیکی، بیوسنسورها

و میکروالکترودهای شانه ای با فواصل میکرونی و …

۴_۲

طراحی و ساخت ماسک کرومی با دقت ١ میکرون

حکاکی و میکرولیتوگرافی دقیق بر روی سنگ های قیمتی سخت

ارائه خدمات Soft Lithography در حوزه های میکروفلوئیدیک و ریزسیستم های زیستی به شرح زیر:

– تولید میکروکانال های پلیمری از جنس ٨SU مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف

– تولید میکروکانال های پلیمری از جنس PDMS مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف

تولید انبوه انواع رتیکل از نوع لایه نازک فلزی یا از نوع حک بر روی شیشه با مشخصات زیر:

– عرض خط برای رتیکل با الگوی لایه نازک فلزی: mm ٠.٠٠١ ± ٠.٠٠۶

– عرض خط برای رتیکل با الگوی حکاکی شده روی سطح شیشه: mm ٠.٠٠٢ ± ٠.٠١٢

خدمات Wire Bonding و جوش دقیق سیم های نازک

۵_۳

برش دقیق ویفرها و زیرلایه های مختلف

برگزاری دوره آموزش میکرولیتوگرافی

تهیه مواد و تجهیزات مرتبط با میکرولیتوگرافی از قبیل ویفرهای سیلیکونی، فوتورزیست، خورنده ها، مواد ظهور، رزین ها

و چسب های مختلف

ساخت مدارات مجتمع لایه نازک مایکروویو چندلایه ای بر روی بسترهای سرامیکی و تفلون

اجرای پروژه های انتقال تکنولوژی، طراحی آزمایشگاه ها و تجهیزات خاص تحقیقاتی در زمینه ساخت قطعات میکروالکترونیکی

۶_۳

تلفن:  ۶۶۰۷۵۱۵۶  و  ۶۶۰۲۸۱۹۴                                  پست الکترونیکی: microelectronic@jdsharif.ac.ir

 

پاسخ دهید

*