تجهیزات آزمایشگاه

 

آزمایشگاه میکروالکترونیک جهاد دانشگاهی صنعتی شریف دارای تجهیزات متنوعی از جمله تجهیزات زیر می باشد:

 

آون (Oven)

ابعاد داخل آون : ۴۰cm*40cm*33cm

حداکثر دما : ۲۰۰C

دقت کنترل دما:۱C

 

 

ماسک

الاینر (Mask Aligner)

قابلیت نوردهی در دایره ای به قطر ۹ سانتیمتر توسط اشعه UV

 

 

اولتراسونیک

همگن سازی، امولوسیون سازی و تمیز کردن انواع سطوح

حجم: ۲ لیتر

 

 

ترازوی دقیق

اندازه گیری انواع مواد شیمیایی و قطعات با دقت بالا

دقت اندازه گیری وزن : ۰٫۰۰۰۱gr

 

 

 

Hot  plate

حرارت دادن انواع سطوح و مواد شیمیایی

دقت کنترل دما: ۱C

 

 

 

دستگاه های لایه نشانی

تبخیر حرارتی مقاومتی(PVD)
تبخیر حرارتی با تفنگ الکترونی
مگنترون اسپاترینگ DC

راکتیو اسپاترینگ

 

 

دستگاه دسیکاتور

حباب زدایی از انواع محلول ها از قبیل PDMS در فرآیند ساخت تراشه های میکروفلوئیدیک

 

 

 

میکروسکوپ نوری

کنترل کیفیت ظاهری قطعه، اندازه گیری و تصویربرداری

بزرگنمایی: ۳۰, ۶۰, ۱۰۰, ۲۰۰, ۳۰۰,۱۰۰۰

 

میکروسکوپ استریو

 

دستگاه آنیلینگ

حرارت بر روی لایه های نازک در اتمسفر گازهای آرگون، نیتروژن و اکسیژن

 

 

دستگاه پوشش دهی چرخشی

ایجاد لایه های نازک از مواد شیمیایی از قبیل فوتورزیست بر روی انواع سطوح

قابلیت پوشش دهی در دایره ای به قطر ۲۵cm

حداکثر دور:۷۵۰۰ rpm

 

دستگاه برش ویفر

اندازه گیری ابعاد میکرونی

 

دستگاه سوراخ کاری دقیق

برای سوراخکاری انواع شیشه و سیلیکون و … با ابعاد دلخواه

سوراخکاری از قطر یک میلیمتر به بالا با پروفایل های متفاوت

 

دستگاه برش دقیق

برش انواع فلزات و شیشه و سیلیکون و پیرکس

دقت برشکاری ۵۰۰ میکرون

 

آنیلینگ

انجام عملیات حرارتی روی لایه های نازک در اتمسفر گازهای اکسیژن، آرگون و نیتروژن

با قابلیت برنامه ریزی در ۹ برنامه ۹ مرحله ای تا ۱۲۰۰ درجه ی سانتیگراد

پاسخ دهید

*