گروه پژوهشی فناوری خلأ

۱عکس-بزرگ--سیستم-لایه-نشانی-مگنترون-اسپاترینگ

 

محورهای فعالیت:

طراحی تجهیزات و زیرسیستم های لایه نشانی و لایه برداریETS-160

طراحی چشمه های پلاسما و چشمه های پرتو ذرات باردار

تحقیق و توسعه برای تولید و بومی سازی فناوری های کاربردی خلأ و پلاسما

طراحی و ساخت سیستم های لایه نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی سفارشی شامل :

 

سیستم ها
سیستم لایه نشانی تبخیر در خلأ بالا با منبع پرتو الکترونی مدل های ETS وEDSSpu

سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ در خلأ بالا مدل MSS

سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی مدل LTS
سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner)

 

زیرمجموعه ها:
مجموعه چشمه یون پرتو پهن (DC&RF)
کاتد مگنترون اسپاترینگ(DC & RF) با قطرهای ٢ و ٣ اینچ
منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ٣ کیلوواتmanbatabkhir
ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری خنکشونده با آب و قابل انعطاف
منبع تبخیر مقاومتی جریان بالا
نگهدارنده نمونه برقی با امکان کنترل دور
فیدتروی الکتریکی
گرمکن های تابشی ٣٠٠ و ٧۵٠ درجه سانتیگراد

garmkon

 

 

 

  • انجام لایه نشانی های خاص به روشPVD

  • انجام کالیبراسیون خلأسنجهای محدوده خلأ پایین و متوسط

  • ارائه خدمات تخصصی و آموزشی

  • بهینه سازی و ارتقاء ادوات لایه نشانی در خلأSPC-page-1

 

 

سوابق و تجربیات:

  • سیستم لایه نشانی تبخیر با پرتوالکترونی مدل های ETS و EDS ؛

شامل محفظه خلأ ١١٠ لیتری، پمپ خلأ از نوع توربومولکولار و دیفیوژن، منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ٣ کیلووات، منبع تبخیر مقاومتی، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، کاتد تمیزکاری پلاسما سراسری، نمونه گردان برقی با امکان کنترل دور وگرمکن نمونه از نوع تابشی با کنترلر دما

  • سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ مدلMSS؛

شامل محفظه خلأ ۶٠ لیتری، کاتد DC و RF مگنترون اسپاترینگ به قطرهای ٢ و ٣ اینچ، ضخامت سنج کریستالی

کامپیوتری، سیستم عملیات حرارتی مربوط به زیرلایه، نگهدارنده نمونه، کاتد تمیزکاری پلاسما موضعی، شاتر کاتد و شاتر نمونه

  • سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی(Pulsed Laser Deposition) (مدلLTS)؛

شامل محفظه خلأ ٢٠ لیتری، مجموعه گرداننده ماده هدف، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، مجموعه نگهدارنده نمونه، گرمکن نمونه از نوع تابشی با کنترلر دما

  • سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner)؛

شامل محفظه خلأ ٢٠٠ لیتری، کویل های القایی با قطرهای ۴ و ٧ سانتیمتر، منبع تغذیه RF با توان ١۵ کیلووات، دیسک گردان با حداکثر سرعت خطی ۴٠ متر بر ثانیه

 

 

 

 

تلفن:۶۶۰۷۵۶۱۴  و  ۶۶۰۷۵۶۱۹

پست الکترونیکی: hivac@jdsharif.ac.ir

پاسخ دهید

*