گروه پژوهشی فناوری خلأ

محورهای فعالیت:

• طراحی و ساخت سیستم‌های لایه‌نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی طبق سفارش کارفرما• طراحی و ساخت سیستم‌های لایه‌نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی طبق سفارش کارفرما
        سیستم‌ها
          – سیستم لایه‌نشانی تبخیر در خلأ بالا مجهز به منبع پرتو الکترونی (مدل‌های ETS وEDS)
          – سیستم لایه‌نشانیDC&RF مگنترون اسپاترینگ در خلأ بالا (مدل MSS)
          – سیستم لایه‌نشانی تبخیر با لیزر پالسی (مدل LTS)
          – سیستم ذوب‌ریسی در خلأ (Melt Spinner)
     زیرمجموعه‌ها
          – چشمه پرتو یون پهن رادیوفرکانسی و جریان مستقیم
          -کاتد مگنترون اسپاترینگ(DC & RF) با تارگت های قطر ۲ و ۳ اینچ
          – منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان  ۳ کیلووات
           – ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری خنک‌شونده با آب و قابل انعطاف
          – منبع تبخیر مقاومتی جریان بالا
          – نگهدارنده نمونه برقی با امکان کنترل دور
          – فیدتروهای الکتریکی و مکانیکی
          – گرمکن‌های تابشی ۳۰۰ و ۷۵۰ درجه سانتیگراد
• تأمین کننده تجهیزات خلأ
           انواع پمپ‌، خلأسنج، شیرهای خلأ، بوته، کریستال و…

۲۴

• انجام لایه‌نشانی‌های خاص به روش PVD

سوابق و تجربیات:

– طراحی و ساخت سیستم‌های خلأ بالا در زمینه لایه‌نشانی لایه‌‌های نازک رسانا و دی‌الکتریک‌ها

برای مراکز تحقیقاتی و دانشگاه های داخل و خارج از کشور
– طراحی و ساخت سیستم انجماد سریع تحت خلأ جهت ساخت نوارهای ردیاب مغناطیسی
برای آزمایشگاه تخصصی متالورژی پژوهشکده توسعه تکنولوژی  – طراحی و ساخت تجهیزات جانبی سیستم های لایه نشانی در خلأ بالا نظیرگرمکن نمونه از نوع تابشی، منبع تبخیر مقاومتی حرارتی، کاتد تمیزکاری پلاسما موضعی و سراسری، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، نگهدارنده نمونه چرخان، کاتد مگنترون اسپاترینگ، چشمه یون پرتو پهن و…
– طراحی و ساخت انواع محفظه های تحت خلأ
تلفن:۶۶۰۷۵۶۱۴  و  ۶۶۰۷۵۶۱۹
پست الکترونیکی: hivac@jdsharif.ac.ir

پاسخ دهید

*