سیستم لایه نشانی تبخیر با پرتو الکترونی مدل (ETS و EDS)

• مشخصات دستگاه:

– محفظه: استیل، حجم :۱۱۰لیتر، دو پنجره دید، درب در بالا، ۱۲ سوراخ فیدترو به قطر ۲۷ میلیمتر

– فشارنهایی: محدوده ۶- ۱۰ میلی بار

– سیستم تخلیه: پمپ مکانیکی ودیفیوژن یا توربومولکولار

– زمان تخلیه برای شروع عملیات: ۴۰ دقیقه

– عملکرد: نیمه‌اتوماتیک برای حفاظت در مقابل قطع منابع برق، آب، باد و خطای کاربر

– بالابرمحفظه: پنوماتیک الکترونیک

• تجهیزات جانبی نصب شده روی دستگاه:

– منبع پرتو الکترونی مغناطیسی ۳ کیلووات ،گردش ۲۷۰ درجه پرتو

– منبع تغذیه ۶ کیلوولت، ۳ کیلووات برای منبع پرتوالکترونی

– کاتد مگنترون اسپاترینگ

– منبع تبخیر مقاومتی: A250 با منبع تغذیه AC

– تله ازت مایع

– ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری

– نمونه‌گردان برقی با امکان کنترل دور

– گرم‌کن نمونه (از نوع تابشی) با کنترلر دمای PID

• کاربردها:

– فناوری نانو

– اپتیک

– میکروالکترونیک

– ابررسانایی

– فیلترهای نوری

– اپتوالکترونیک

– آینه های لیزر

– لایه های دی الکتریک

– پوشش های سخت

– پوشش های تزئینی

اخذ ایران کد برای سیستم های لایه نشانی تبخیر با پرتوالکترونی

دریافت گواهی ثبت اختراع برای سامانه نیمه خودکار لایه نشانی در خلأ (۱۳۸۶)

کسب رتبه دوم تحقیقات کاربردی در شانزدهمین جشنواره بین المللی خوارزمی برای طرح “سیستم لایه نشانی فیزیکی نیمه اتومات”

• طراحی، ساخت، نصب و راه اندازی سیستم در:

– دانشگاه علوم پایه دامغان- ۱۳۸۰

– دانشگاه شهید بهشتی، پژوهشکده لیزر- ۱۳۸۱

– دانشگاه دمشق،مؤسسه تحقیقات کاربردی لیزر(کشور سوریه)-۱۳۸۲

– دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه تربیت مدرس- ۱۳۸۳

– سازمان انرژی اتمی بناب-۱۳۸۴

– پژوهشکده برق و الکترونیک- ۱۳۸۴

– دانشگاه آزاد اسلامی، واحد مهاباد- ۱۳۸۷

– دانشگاه آزاد اسلامی، واحد کرج- ۱۳۸۸

– دانشگاه آزاد اسلامی، واحد تهران مرکز- ۱۳۸۹

– شرکت کارآفرینی و فناوری ایران(کفا)-۱۳۹۱

– دانشگاه آزاد اسلامی، واحد اهواز-۱۳۹۲

• موارد قابل ارائه :

محصول نهایی

تولید سفارشی

نصب و راه اندازی

تعمیر و نگهداری

ارتقا سیستم

آموزش کاربران و بهره برداران

پاسخ دهید

*