سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ مدل(MSS)

• مشخصات دستگاه:

– محفظه استیل: حجم: ۶۰ لیتر، سه پنجره دید، درب در بالا، ۱۲ سوراخ فیدترو به قطر ۲۷ میلیمتر

– فشارنهایی: محدوده ۶- ۱۰ میلی‌بار

– سیستم تخلیه: پمپ مکانیکی و توربومولکولار

– عملکرد: نیمه‌اتوماتیک برای حفاظت در مقابل قطع منابع برق، آب، باد و خطای کاربر

– بالابرمحفظه: پنوماتیک الکترونیک

• تجهیزات جانبی نصب شده روی دستگاه:

– کاتد DC و RF مگنترون اسپاترینگ به قطر ۲ و ۳ اینچ (طبق درخواست مشتری)

– منبع تغذیه DC اسپاترینگ ۱ کیلووات

– منبع تغذیه RF اسپاترینگ ۱۰۰۰ وات در فرکانس ۵۶٫۱۳ مگاهرتز

– جعبه تطبیق دستی و اتوماتیک

– ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری

– نمونه گردان دستی

– گرم‌کن نمونه (از نوع تابشی) با کنترلر دمای PID پ (۲۵۰ درجه سانتی گراد دارای نگهدارنده نمونه بدون قابلیت خنک شوندگی با آب و ۷۰۰ درجه سانتی گراد دارای نگهدارنده نمونه با قابلیت خنک شوندگی با آب)

– شاتر کاتد و شاتر نمونه

– کاتد تمیزکاری پلاسمای موضعی

• کاربردها:

فناوری نانو، اپتیک، میکروالکترونیک، ابررسانایی، فیلترهای نوری، اپتوالکترونیک، آینه های لیزر، لایه های دی الکتریک، پوشش های سخت، پوشش های تزئینی

• طراحی، ساخت، نصب و راه اندازی سیستم در:

– دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه تربیت مدرس- ۱۳۸۳

– پژوهشکده برق و الکترونیک- ۱۳۸۴

– دانشگاه صنعتی اصفهان- ۱۳۹۰

– مرکز میکروالکترونیک جهاددانشگاهی صنعتی شریف -۱۳۹۰

– دانشگاه آزاد اسلامی، واحد مرودشت-۱۳۹۱

– دانشگاه شیراز، پژوهشکده فناوری نانو-۱۳۹۱

– پژوهشگاه مواد وانرژی -۱۳۹۲

اخذ ایران کد برای سیستم های لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ

دریافت گواهی ثبت اختراع برای سامانه نیمه خودکار اسپاترینگ

• موارد قابل ارائه:

محصول نهایی

تولید سفارشی

نصب و راه اندازی

تعمیر و نگهداری

ارتقا سیستم

آموزش کاربران و بهره برداران

پاسخ دهید

*