طراحی و ساخت سیستم های لایه نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی سفارشی آن

گروه پژوهشی و مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا ی این سازمان در زمینه ی طراحی و ساخت سیستم های لایه نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی سفارشی آن شامل سیستم لایه نشانی تبخیر در خلأ بالا با منبع پرتو الکترونی (مدلهای ETS وEDS)، سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ در خلأ بالا (مدل MSS)، سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی (مدل LTS) و سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner) فعالیت دارد.

همچنین زیرمجموعه های این سیستم شامل کاتد مگنترون اسپاترینگ(DC & RF) با قطرهای ۲ و ۳ اینچ، منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ۳ کیلووات، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری خنک شونده با آب و قابل انعطاف، منبع تبخیر مقاومتی جریان بالا،نگهدارنده نمونه برقی با امکان کنترل دور، فیدتروی الکتریکی و گرمکن های تابشی ۳۰۰ و ۷۵۰ درجه سانتیگراد در این مرکز طراحی و ساخته می شود.

مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا به عنوان تأمین کننده تجهیزات خلأ، انواع پمپ، فشارسنج، شیر خلأ، بوته، کریستال و … فعالیت دارد.

انجام لایه نشانی های خاص به روش PVD از دیگر فعالیتهای گروه پژوهشی و مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا می باشد.

 

جهت ارتباط با متخصصان این حوزه می توانید با شماره های زیر تماس گرفته و یا سئوالات خود را از طریق همین سایت ارسال نمایید.

 

تلفن: ۶۶۰۷۵۶۱۴ و ۶۶۰۷۵۶۱۹

پست الکترونیکی: hiac@jdsharif.ac.ir

پاسخ دهید

*