آزمایشگاه میکرو الکترونیک

معرفی آزمایشگاه

آزمایشگاه میکروالکترونیک، دارای بیش از سه دهه تجربه در ارائه خدمات تخصصی در زمینه های میکرولیتوگرافی، ساخت انواع رتیکل، ساخت انواع نمونه های مهندسی و برش های دقیق می باشد.
این مجموعه مجهز به سیستم های تنظیم ماسک ، Spin coater، اتاق ها و میزهای تمیز، میکروسکوپ های کنترل کیفیت و تجهیزات برش و بسته بندی از قبیل Wire Bonder و Probe Station می باشد. همچنین به دلیل تعامل گسترده این مرکز با اغلب مراکز پژوهشی و دانشگاه های کشور، امکان دریافت خدمات دیگر نیز در این مرکز فراهم است.

در این آزمایشگاه با تأکید بر روی تکرارپذیر و قابل اطمینان کردن فرآیندهای مختلف، امکان تولید نیمه صنعتی نمونه های مهندسی فراهم شده است.

خدمات و توانایی های تخصصی

• ارائه خدمات میکرولیتوگرافی بر روی لایه های نازک فلزی و دی الکتریک با دقت بالا در زمینه های زیر:
– میکروالکترونیک: ساخت انواع سنسورها، ریزمقاومت ها و …
– آپتوالکترونیک و اپتیک: ساخت انواع انکودر، پین هول، توری، شکاف، موجبرها و …
– سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS و BioMEMS ): ساخت Saw Filter، شتاب سنج مکانیکی، بیوسنسورها
و میکروالکترودهای شانه ای با فواصل میکرونی و …
• طراحی و ساخت ماسک کرومی با دقت ۱ میکرون
• حکاکی و میکرولیتوگرافی دقیق بر روی سنگ های قیمتی سخت
• ارائه خدمات Soft Lithography در حوزه های میکروفلوئیدیک و ریزسیستم های زیستی به شرح زیر:
– تولید میکروکانال های پلیمری از جنس ۸-SU مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
– تولید میکروکانال های پلیمری از جنس PDMS مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
• تولید انبوه انواع رتیکل از نوع لایه نازک فلزی یا از نوع حک بر روی شیشه با مشخصات زیر:
– عرض خط برای رتیکل با الگوی لایه نازک فلزی: mm 0.001 ± ۰٫۰۰۶
– عرض خط برای رتیکل با الگوی حکاکی شده روی سطح شیشه: mm 0.002 ± ۰٫۰۱۲
• خدمات Wire Bonding و جوش دقیق سیم های نازک
• برش دقیق ویفرها و زیرلایه های مختلف
• برگزاری دوره آموزش میکرولیتوگرافی
• تهیه مواد و تجهیزات مرتبط با میکرولیتوگرافی از قبیل ویفرهای سیلیکونی، فوتورزیست، خورنده ها، مواد ظهور، رزین ها
و چسب های مختلف
• ساخت مدارات مجتمع لایه نازک مایکروویو چندلایه ای بر روی بسترهای سرامیکی و تفلون
• اجرای پروژه های انتقال تکنولوژی، طراحی آزمایشگاه ها و تجهیزات خاص تحقیقاتی در زمینه ساخت قطعات میکروالکترونیکی

 

یک نظر

پاسخ دهید

*