مرکز خدمات تخصصی فناوری خلأ بالا

محورهای فعالیت:EDS-1

طراحی و ساخت سیستم های لایه نشانی در خلأ بالا و تجهیزات جانبی سفارشی شامل :

سیستم ها
سیستم لایه نشانی تبخیر در خلأ بالا با منبع پرتو الکترونی مدل های ETS وEDS
سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ در خلأ بالا مدل MSS
سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی مدل LTSMSS-1

سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner)

 

زیرمجموعه ها:


کاتد مگنترون اسپاترینگ(DC & RF) با قطرهای ٢ و ٣ اینچ۳۳۳۳۳۳۳۳

منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ٣ کیلووات
ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری خنک شونده با آب و قابل انعطاف
منبع تبخیر مقاومتی جریان بالا
نگهدارنده نمونه برقی با امکان کنترل دور
فیدتروی الکتریکی

گرمکن های تابشی ٣٠٠ و ٧۵٠ درجه سانتیگراد۲۴

 

تأمین کننده تجهیزات خلأ شامل:

انواع پمپ، فشارسنج، شیر خلأ، بوته، کریستال و …

انجام لایه نشانی های خاص به روشPVD۱۱۱۱۱۱

 

 

 

 

سوابق و تجربیات:

  • سیستم لایه نشانی تبخیر با پرتوالکترونی مدل های ETS و EDS ؛

             شامل محفظه خلأ ١١٠ لیتری، پمپ خلأ از نوع توربومولکولار و دیفیوژن، منبع تبخیر پرتوالکترونی مغناطیسی با توان ٣ کیلووات، منبع تبخیر مقاومتی، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، کاتد تمیزکاری پلاسما سراسری، نمونه گردان برقی با امکان کنترل دور وگرمکن نمونه از نوع تابشی با کنترلر دما
  • سیستم لایه نشانی مگنترون اسپاترینگ مدلMSS؛

              شامل محفظه خلأ ۶٠ لیتری، کاتد DC و RF مگنترون اسپاترینگ به قطرهای ٢ و ٣ اینچ، ضخامت سنج کریستالی
              کامپیوتری، سیستم عملیات حرارتی مربوط به زیرلایه، نگهدارنده نمونه، کاتد تمیزکاری پلاسما موضعی،
               شاتر کاتد و شاتر نمونه

  • سیستم لایه نشانی با لیزر پالسی(Pulsed Laser Deposition) (مدلLTS)؛۶۵۴۶۵۴۶۵_A

              شامل محفظه خلأ ٢٠ لیتری، مجموعه گرداننده ماده هدف، ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، مجموعه نگهدارنده نمونه، گرمکن نمونه از نوع تابشی با کنترلر دما
  • سیستم ذوب ریسی در خلأ (Melt Spinner)؛

     شامل محفظه خلأ ٢٠٠ لیتری، کویل های القایی با قطرهای ۴ و ٧ سانتیمتر، منبع تغذیه RF با توان ١۵ کیلووات، دیسک گردان با حداکثر سرعت خطی ۴٠ متر بر ثانیه

 

 

 

 تلفن: ۶۶۰۷۵۶۱۴  و   ۶۶۰۷۵۶۱۹

پست الکترونیکی: hiac@jdsharif.ac.ir

پاسخ دهید

*