مقاله‌ی اعضا سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف با عنوان:
«مشخصه‌یابی چگالی جریان پرتو یون چشمه یون رادیوفرکانسی با سیستم‌های استخراج تخت و محدب»

Characterization of the Ion Beam Current Density of the RF Ion Source with Flat and Convex Extraction Systems
در مجله‌ی سیلیکون اروپا  منتشر شده است.

این مقاله توسط خانم مریم صالحی، آقایان علی آرمان و قاسم امرائی راد از اعضای گروه پژوهشی فناوری خلأ سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف و آقایان علی اصغر زواریان، کوروس حمزه از اعضا هیأت علمی این سازمان و دیگر همکارانشان تالیف و منتشر شده است.

لازم به ذکر است که این مقاله از نتایج طرح پژوهشی “طراحی و ساخت فنجان فارادی برای مشخصه‌یابی پرتوی یون کم انرژی” استخراج و دراسفند ماه سال ۱۳۹۶ (۱۸ مارس ۲۰۱۸) پذیرش و اردیبهشت ماه سال۹۷منتشر شده است.

در چکیده این مقاله آمده است:
مشخصه‌یابی توزیع چگالی جریان پرتو یون و یکنواختی پرتو برای بهبود تکنولوژی‌های منبع پرتو یون پهن بسیار حیاتی است. طرح سامانه استخراج بطور مستقیم بر روی این دو پارامتر اثرگذار است، بنابراین بسته به نوع کاربرد، طرح و هندسه منبع تغییر داده می‌شود. در این مطالعه، اثر حضور یا عدم حضور فرآیند خنثی‌سازی بر چگالی جریان یونی مورد بررسی قرار گرفته است.

همچنین اثر بایاس پروب بر اندازه جریان یون ارزیابی شد. در نهایت با استفاده از یک پروب تخت، نمودارهای جریانیون ناشی از سامانه استخراج چشمه (مدل RFIS60، ساخت گروه پژوهشی خلأ) در انرژی‌های ۳۰۰ تا ۱۰۰۰ الکترون ولت ترسیم گردیده و مقایسه‌ای بر