آزمایشگاه میکروالکترونیک

آزمایشگاه میکروالکترونیک

معرفی آزمایشگاه

آزمايشگاه ميکروالکترونيک، داراي بيش از سه دهه تجربه در ارائه خدمات تخصصي در زمينه هاي ميکروليتوگرافي، ساخت انواع رتيکل، ساخت انواع تراشه های میکروفلوئیدیک، ساخت انواع نمونه هاي مهندسي و برش هاي دقيق مي باشد.

اين مجموعه مجهز به سيستم هاي تنظيم ماسک(Mask Aligner)، لایه نشانی چرخشی(Spin coater)، اتاق ها و ميزهاي تميز، ميکروسکوپ هاي کنترل کيفيت و تجهيزات برش و بسته بندي ازقبيل Wire Bonder و Probe Station مي باشد.

همچنين به دليل تعامل گسترده اين مرکز با اغلب مراکز پژوهشي و دانشگاه هاي کشور، امکان دريافت خدمات ديگر نيز در اين مرکز فراهم است.

در اين آزمايشگاه با تأکيد بر روي تکرارپذير و قابل اطمينان کردن فرآيندهاي مختلف، امکان توليد نيمه صنعتي نمونه هاي مهندسي فراهم شده است.

خدمات و توانایی های تخصصی

  • ارائه خدمات ميکروليتوگرافي بر روي لايه هاي نازک فلزي و دي الکتريک با دقت نیم میکرون در زمينه هاي زير:

– ميکروالکترونيک: ساخت انواع سنسورها، ريزمقاومت ها، دیود شاتکی و …

– آپتوالکترونيک و اپتيک: ساخت انواع انکودر، پين هول، توري، شکاف، موج برها و …

– سيستم هاي ميکروالکترومکانيکي (MEMS و BioMEMS ): ساخت Saw Filter، شتاب سنج مکانيکي، بيوسنسورها و ميکروالکترودهاي شانه اي با فواصل ميکروني و …

  • طراحي و ساخت ماسک کرومي با دقت ١ ميکرون
  • حکاکي و ميکروليتوگرافي دقيق بر روي سنگ هاي قيمتي سخت

 

  • ارائه خدمات Soft Lithography در حوزه هاي ميکروفلوئيديک و ريزسيستم هاي زيستي به شرح زير:
    – توليد ميکروکانال هاي پليمري از جنس ٨- SU و PDMS مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع هاي مختلف
    – توليد ميکروکانال های عمیق از جنس شیشه مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع هاي مختلف
    -تولید میکروکانال از جنس سیلیکون مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع هاي مختلف

 

  • توليد انبوه انواع رتيکل از نوع لايه نازک فلزي يا از نوع حک بر روي شيشه با مشخصات زير:

– عرض خط براي رتيکل با الگوي لايه نازک فلزي: mm ٠.٠٠١ ± ٠.٠٠٦

– عرض خط براي رتيکل با الگوي حکاکي شده روي سطح شيشه: mm ٠.٠٠٢ ± ٠.٠١٢

 

 

  • برش دقيق ويفرها و زيرلايه هاي مختلف
  • برگزاري دوره آموزش ميکروليتوگرافي و میکروفلوئیدیک
  • تهيه مواد و تجهيزات مرتبط با ميکروليتوگرافي از قبيل ويفرهاي سيليکوني، فوتورزيست، خورنده ها، مواد ظهور، رزين ها و چسب هاي مختلف
  • ساخت مدارات مجتمع لايه نازک مايکروويو چندلايه اي بر روي بسترهاي سراميکي و تفلون
  • اجراي پروژه هاي انتقال تکنولوژي، طراحي آزمايشگاه ها و تجهيزات خاص تحقيقاتي در زمينه ساخت قطعات ميکروالکترونيکي

 

 

 

 

 

اعتبارات شبکه آزمایشگاهی در سال 1400 اعلام شد؛ 100 میلیون ریال اعتبار به اعضای هیئت علمی ارائه می شود. برای کسب اطلاعات بیشتر روی این عنوان کلیک نمایید.

عضو شبکه آزمایشگاهی فناوری های راهبردی

تمامی آزمایشگاه های پژوهشی در دانشگاه ها، پژوهشگاه ها و شرکت های خصوصی در سراسر کشور می توانند عضو شبکه ازمایشگاهی فناوری های راهبردی شوند.

برای آگاهی از نحوه ثبت نام و عضویت آزمایشگاه ها در شبکه آزمایشگاهی فناوری های راهبردی بر روی آدرس زیر کلیک نمایید.

https://labsnet.ir/page/3732

فهرست