معرفی آزمایشگاه
آزمایشگاه میکروالکترونیک، دارای بیش از سه دهه تجربه در ارائه خدمات تخصصی در زمینه های میکرولیتوگرافی، ساخت انواع رتیکل، ساخت انواع تراشه های میکروفلوئیدیک، ساخت انواع نمونه های مهندسی و برش های دقیق می باشد.
این مجموعه مجهز به سیستم های تنظیم ماسک(Mask Aligner)، لایه نشانی چرخشی(Spin coater)، اتاق ها و میزهای تمیز، میکروسکوپ های کنترل کیفیت و تجهیزات برش و بسته بندی ازقبیل Wire Bonder و Probe Station می باشد.
همچنین به دلیل تعامل گسترده این مرکز با اغلب مراکز پژوهشی و دانشگاه های کشور، امکان دریافت خدمات دیگر نیز در این مرکز فراهم است.
در این آزمایشگاه با تأکید بر روی تکرارپذیر و قابل اطمینان کردن فرآیندهای مختلف، امکان تولید نیمه صنعتی نمونه های مهندسی فراهم شده است.
خدمات و توانایی های تخصصی
- ارائه خدمات ميکروليتوگرافی بر روي لايه هاي نازک فلزی و دی الکتريک با دقت نیم میکرون در زمينه های زير:
– ميکروالکترونيک: ساخت انواع سنسورها، ريزمقاومت ها، دیود شاتکی و …
– آپتوالکترونيک و اپتيک: ساخت انواع انکودر، پين هول، توری، شکاف، موج برها و …
– سيستم هاي ميکروالکترومکانيکي (MEMS و BioMEMS ): ساخت Saw Filter، شتاب سنج مکانيکي، بيوسنسورها و ميکروالکترودهاي شانه اي با فواصل ميکروني و …
- طراحی و ساخت ماسک کرومی با دقت ١ ميکرون
- حکاکی و ميکروليتوگرافی دقيق بر روي سنگ های قيمتی سخت
- ارائه خدمات Soft Lithography در حوزه های ميکروفلوئيديک و ريزسيستم های زيستی به شرح زير:
– توليد ميکروکانال های پليمری از جنس ٨- SU و PDMS مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
– توليد ميکروکانال های عمیق از جنس شیشه مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف
-تولید میکروکانال از جنس سیلیکون مطابق با طرح کاربر با ابعاد و ارتفاع های مختلف - توليد انبوه انواع رتيکل از نوع لايه نازک فلزی يا از نوع حک بر روی شيشه با مشخصات زير:
– عرض خط براي رتيکل با الگوی لايه نازک فلزی: mm ٠.٠٠١ ± ٠.٠٠٦
– عرض خط برای رتيکل با الگوی حکاکی شده روی سطح شيشه: mm ٠.٠٠٢ ± ٠.٠١٢
- برش دقيق ويفرها و زيرلايه های مختلف
- برگزاری دوره آموزش ميکروليتوگرافی و میکروفلوئیدیک
- تهيه مواد و تجهيزات مرتبط با ميکروليتوگرافی از قبيل ويفرهای سيليکونی، فوتورزيست، خورنده ها، مواد ظهور، رزين ها و چسب های مختلف
- ساخت مدارات مجتمع لايه نازک مايکروويو چندلايه ای بر روی بسترهای سراميکی و تفلون
- اجرای پروژه های انتقال تکنولوژی، طراحی آزمايشگاه ها و تجهيزات خاص تحقيقاتی در زمينه ساخت قطعات ميکروالکترونيکی
عضو شبکه آزمایشگاهی فناوری های راهبردی
تمامی آزمایشگاه های پژوهشی در دانشگاه ها، پژوهشگاه ها و شرکت های خصوصی در سراسر کشور می توانند عضو شبکه ازمایشگاهی فناوری های راهبردی شوند.
برای آگاهی از نحوه ثبت نام و عضویت آزمایشگاه ها در شبکه آزمایشگاهی فناوری های راهبردی بر روی آدرس زیر کلیک نمایید.