سیستم لایه نشانی تحت خلأ

  1. سیستم لایه نشانی تحت خلأ

سیستم لایه نشانی تحت خلأ

اجزاء محصول:

  • سيستم لايه نشاني تبخير در خلأ بالا مجهز به منبع پرتو الكتروني (مدلهاي ETS وEDS)
  • سيستم لايه نشانيDC&RF مگنترون اسپاترينگ در خلأ بالا (مدل MSS)
  • سيستم لايه نشاني تبخیر با ليزر پالسي (مدل LTS)
  • سيستم ذوب ريسي در خلأ (Melt Spinner)
  • چشمه پرتو یون پهن رادیوفرکانسی و جریان مستقیم
  • منبع تبخير پرتوالكتروني مغناطيسی با توان ٣ كيلووات
  • منبع تبخير مقاومتي جريان بالا
  • فيدتروهای الكتريكي و مکانیکی
  • گرمكن هاي تابشي
  • نگهدارنده نمونه
  • كاتد مگنترون اسپاترينگ(DC & RF) با تارگت های قطر ٢ و ٣ اينچ
  • ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري خنك شونده با آب و قابل انعطاف

کاربردها:

  • درفناوری نانو، اپتیک، میکروالکترونیک، ابررسانایی، فیلتر های نوری، اپتوالکترونیک، آینه های لیزر، لایه های دی الکترنیک، پوشش های سخت، پوشش های تزئینی

مرکز خدمات تخصصی مکاترونیک

گروه پژوهشی فناوری خلأ

فهرست