خدمات میکرولیتوگرافی (Microlithography) بر روی لایه‌های فلزی و عایق با دقت 0.5 میکرون در زمینه‌های زیر در مرکز خدمات تخصصی میکرو الکترونیک جهاددانشگاهی صنعتی شریف انجام می شود:
- میکروالکترونیک (از قبیل ساخت انواع سنسور ها، دیود شاتک، ریز مقاومت ها و …)
- آپتوالکترونیک و اپتیک (از قبیل ساخت انکودر، پین هول، توری، شکاف، موجبرها و …)
- MEMS و BioMEMS (از قبیل ساخت SAW Filter ، شتاب‌سنج، بیوسنسورها و …)
- طراحی و ساخت ماسک کرومی با دقت 1 میکرون
- ساخت مدارات مجتمع مایکروویو بر روی بستر های سرامیکی
- تولید انواع الکترودهای شانه‌ای