برپائی یک سامانه کالیبراسیون خلأسنج پیرانی

خلأ فيدتروي الكتريكي 011

طراحی و ساخت فیدتروی مکانیکی

منبع تبخير الكتروني 1

اصلاح اپتیک الکترون و تفنگ الکترونی در منبع تبخیر پرتو الکترونی

بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه نشانی به کمک پرتو یون

لیست طرح های پژوهشی گروه پژوهشی فناوری خلأ

 

ردیف طرح‌های مصوب معاونت پژوهش و فناوری جهاددانشگاهی سال تصویب سال اختتام
1 اصلاح اپتیک الکترون و تفنگ الکترونی در منبع تبخیر پرتو الکترونی 99 ادامه دارد
2 طراحی و ساخت سامانه زدایش عمیق  ICP-RIE

Deep Reactive Etching of Silica with SF6/H2 Plasma: Variation of process parameters and microstructural studies

97 ادامه دارد
3 طراحی و ساخت فنجان فارادی برای مشخصه‌یابی پرتوی یون کم انرژی

Characterization of the ion beam current density of the RF ion source with flat and convex extraction systems

94 97
4 برپائی یک سامانه کالیبراسیون خلأسنج پیرانی

Behaviors of capacitive and Pirani vacuum gauges: Case study on time effect

94 96
5 بهينه‌سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه‌نشانی به كمك پرتو يون

Study of the microstructure and surface morphology of silver nanolayers obtained by ion-beam deposition

92 95

 

ردیف طرح‌های پژوهشی داخلی مصوب شورای علمی گروه
1 طراحی و ساخت فیدتروی مکانیکی
2 بررسی خواص مغناطیسی نانوذرات مس در بستر کربنی
3 ساخت لایه‌های نانومتری نقره با استفاده از دستگاه ترکیبی چشمه و تبخیر فیزیکی  (IAD)
4 ساخت لایه نازک آلومینیوم به کمک چشمه یون جریان مستقیم
5 ساخت لایه‌های نیترید تیتانیوم به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص مورفولوژی آنها
6 بررسی اثر زاویه‌ای در تشکیل لایه‌های نازک نیترید تیتانیوم بر روی زیرلایه استیل ۳۰۴ به وسیله دستگاه پلاسمای کانونی (PF)
7 ساخت نانوذرات کبالت در بستر کربنی به روش همزمان از کندوپاش شیمیایی و رادیوفرکانسی
8 ساخت نانوذرات مس-نقره به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی خواص مورفولوژی آنها
9 تحلیل عملکرد پروب لانگمور و معادلات فیزیکی حاکم بر آن
10 آشنایی با نرم‌افزارهای شبیه‌سازی COMSOL و CST
11 معرفی انواع روش‌های لایه‌نشانی تبخیری و بررسی ویژگی آن‌ها
12 بررسی اثر کاشت N+ با کمک چشمه یون در لایه‌های نیکل تهیه شده به روش تفنگ الکترونی
13 آشنایی با مواد چپگرد
14 مشخصه‌یابی پلاسما با پروب لانگمیر
15 ساخت نانوذرات کبالت سلنید و بررسی خواص فیزیکی و اپتیکی آنها
16 تعیین نرخ، عمق و نقطه نهایی زدایش به کمک طیف نگار تابش نوری
17 بررسی ارتباط بین خواص اپتیکی و مورفولوژی سطح لایه های اکسید تنگستن تهیه شده با روش منبع تبخیر پرتو الکترونی
18 بررسی آنالیز فرکتالی و استوکیومتری لایه‌های مس نقره تهیه شده با روش کندوپاش
19 بررسی اثر دمای پخت بر خواص میکرومورفولوژی و خوردگی لایه‌های تیتانیوم بر روی استیل 304
20 بررسی خواص فرکتالی و مورفولوژی لایه‌های سولفید روی تهیه شده با روش کندوپاش رادیوفرکانسی
21 آنالیز استوکیومتری لایه‌های اکسید تیتانیوم تولید شده با روش IBD
22 ساخت و آنالیز نانو تركیب مس نقره پالادیوم با هدف بهبود خواص كاتالیستي
23 بررسی گاف انرژی و اپتیکی لایه‌های Ta2O5 تهیه شده با استفاده از منبع تبخیر پرتو الکترونی
24 بهینه‌سازی فرآیند ساخت لایه نازک FTO و آنالیز آن
25 کاشت یون ازت بر روی لایه محافظ فولاد زنگ‌نزن و بررسی تأثیر آن بر روی خوردگی
26 سنتز و خالص سازی پودر تنگستن از آمونیوم پاراتنگستانت و آنالیز آن
27 بهینه‌سازی فرآیند لیتوگرافی برای زدایش سیلیکون
28 بررسی اثر فشار در ساخت لایه‌های اکسید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش و مطالعه خواص فیزیکی و اپتیکی آن‌ها
29 بررسی اثر زیر لایه‌های مختلف بر خواص اپتیکی لایه‌های کروم مس تهیه شده به روش تبخیر فیزیکی
30 بررسی اثر زمان لایه‌نشانی بر خواص اپتیکی و مورفولوژی لایه‌های نیتریدی مس نقره تهیه شده به روش اسپاترینگ
31 بررسی اثر پلاسمای گاز های SF6 وH2 در زدایش ویفر سلیکون به روش  RIE
32 بررسی خواص اپتیکی و میکروساختاری لایه‌های ZrO2 تهیه شده به روش تبخیر پرتو الکترونی
33 بررسی اثر پلاسمای گازهای SF6 وH2 در زدایش ویفر سلیکون به روش  ICP-RIE
34 بازرسی و سرویس پمپ دیفیوژن سامانه  EDS-100
فهرست