اصلاح اپتیک الکترون و تفنگ الکترونی در منبع تبخیر پرتو الکترونی

قبلیبهینه سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه نشانی به کمک پرتو یون