چاپ مقالهی اعضا گروه پژوهشی فناوری خلأ سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف در مجله بینالمللی Vakuum in Forschung und Praxis (VIP)-Wiley
مقاله ی «زدایش عمیق ویفر سیلیکون در پلاسما گازهای SF6/H2، با بررسی پارامترها و مورفولوژی سطح آن» با عنوان انگلیسی Deep Reactive ... بیشتر بخوانید...
