لیست طرح های پژوهشی گروه پژوهشی فناوری خلأ

ردیف طرح‌های مصوب معاونت پژوهش و فناوری جهاددانشگاهی سال تصویب سال اختتام
1 اصلاح اپتیک الکترون و تفنگ الکترونی در منبع تبخیر پرتو الکترونی 99 ادامه دارد
2

طراحی و ساخت سامانه زدایش عمیق  ICP-RIE

Deep Reactive Etching of Silica with SF6/H2 Plasma: Variation of process parameters and microstructural studies

 97 ادامه دارد
3

طراحی و ساخت فنجان فارادی برای مشخصه‌یابی پرتوی یون کم انرژی

Characterization of the ion beam current density of the RF ion source with flat and convex extraction systems

 94 97
4

برپائی یک سامانه کالیبراسیون خلأسنج پیرانی

Behaviors of capacitive and Pirani vacuum gauges: Case study on time effect

 94 96
5

بهينه‌سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه‌نشانی به كمك پرتو يون

Study of the microstructure and surface morphology of silver nanolayers obtained by ion-beam deposition

 92 95
ردیف طرح‌های پژوهشی داخلی مصوب شورای علمی گروه
1 طراحی و ساخت فیدتروی مکانیکی
2 بررسی خواص مغناطیسی نانوذرات مس در بستر کربنی
3 ساخت لایه‌های نانومتری نقره با استفاده از دستگاه ترکیبی چشمه و تبخیر فیزیکی  (IAD)
4 ساخت لایه نازک آلومینیوم به کمک چشمه یون جریان مستقیم
5 ساخت لایه‌های نیترید تیتانیوم به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص مورفولوژی آنها
6 بررسی اثر زاویه‌ای در تشکیل لایه‌های نازک نیترید تیتانیوم بر روی زیرلایه استیل ۳۰۴ به وسیله دستگاه پلاسمای کانونی (PF)
7 ساخت نانوذرات کبالت در بستر کربنی به روش همزمان از کندوپاش شیمیایی و رادیوفرکانسی
8 ساخت نانوذرات مس-نقره به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی خواص مورفولوژی آنها
9 تحلیل عملکرد پروب لانگمور و معادلات فیزیکی حاکم بر آن
10 آشنایی با نرم‌افزارهای شبیه‌سازی COMSOL و CST
11 معرفی انواع روش‌های لایه‌نشانی تبخیری و بررسی ویژگی آن‌ها
12 بررسی اثر کاشت N+ با کمک چشمه یون در لایه‌های نیکل تهیه شده به روش تفنگ الکترونی
13 آشنایی با مواد چپگرد
14 مشخصه‌یابی پلاسما با پروب لانگمیر
15 ساخت نانوذرات کبالت سلنید و بررسی خواص فیزیکی و اپتیکی آنها
16 تعیین نرخ، عمق و نقطه نهایی زدایش به کمک طیف نگار تابش نوری
17 بررسی ارتباط بین خواص اپتیکی و مورفولوژی سطح لایه های اکسید تنگستن تهیه شده با روش منبع تبخیر پرتو الکترونی
18 بررسی آنالیز فرکتالی و استوکیومتری لایه‌های مس نقره تهیه شده با روش کندوپاش
19 بررسی اثر دمای پخت بر خواص میکرومورفولوژی و خوردگی لایه‌های تیتانیوم بر روی استیل 304
20 بررسی خواص فرکتالی و مورفولوژی لایه‌های سولفید روی تهیه شده با روش کندوپاش رادیوفرکانسی
21 آنالیز استوکیومتری لایه‌های اکسید تیتانیوم تولید شده با روش IBD
22 ساخت و آنالیز نانو تركیب مس نقره پالادیوم با هدف بهبود خواص كاتالیستي
23 بررسی گاف انرژی و اپتیکی لایه‌های Ta2O5 تهیه شده با استفاده از منبع تبخیر پرتو الکترونی
24 بهینه‌سازی فرآیند ساخت لایه نازک FTO و آنالیز آن
25 کاشت یون ازت بر روی لایه محافظ فولاد زنگ‌نزن و بررسی تأثیر آن بر روی خوردگی
26 سنتز و خالص سازی پودر تنگستن از آمونیوم پاراتنگستانت و آنالیز آن
27 بهینه‌سازی فرآیند لیتوگرافی برای زدایش سیلیکون
28 بررسی اثر فشار در ساخت لایه‌های اکسید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش و مطالعه خواص فیزیکی و اپتیکی آن‌ها
29 بررسی اثر زیر لایه‌های مختلف بر خواص اپتیکی لایه‌های کروم مس تهیه شده به روش تبخیر فیزیکی
30 بررسی اثر زمان لایه‌نشانی بر خواص اپتیکی و مورفولوژی لایه‌های نیتریدی مس نقره تهیه شده به روش اسپاترینگ
31 بررسی اثر پلاسمای گاز های SF6 وH2 در زدایش ویفر سلیکون به روش  RIE
32 بررسی خواص اپتیکی و میکروساختاری لایه‌های ZrO2 تهیه شده به روش تبخیر پرتو الکترونی
33 بررسی اثر پلاسمای گازهای SF6 وH2 در زدایش ویفر سلیکون به روش  ICP-RIE
34 بازرسی و سرویس پمپ دیفیوژن سامانه  EDS-100