آنیلینگ (Annealing) انجام عملیات حرارتی روی لایه‌های نازک (Thin Film Layer) در اتمسفر گازهای اکسیژن، آرگون و نیتروژن است.
عملیات حرارتی بر روی لایه‌های نازک (Thin Layer) در اتمسفر گازهای اکسیژن، آرگون و نیتروژن با قابلیت برنامه ریزی در 9 برنامه 9 مرحله‌ای تا 1200 درجه‌ی سانتیگراد از خدمات مرکز خدمات تخصصی میکرو الکترونیک، جهاددانشگاهی صنعتی شریف می باشد.
