نصب و راه‌اندازی سیستم لایه نشانی اسپاترینگ در خلأ بالا در دانشگاه تهران

  1. اخبـار
  2. اخبار سازمان
  3. نصب و راه‌اندازی سیستم لایه نشانی اسپاترینگ در خلأ بالا در دانشگاه تهران

سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف قرارداد نصب و راه‌اندازی یک سیستم لایه نشانی در خلأ بالا مجهز به DC & RFمگنترون اسپاترینگ ( مدل ۱۶۰- MSS) را با دانشکده برق دانشگاه تهران منعقد کرد.

مطابق قرارداد، این سیستم مجهز به پمپ های توربومولکولار و روتاری به همراه کاتد مگنترون اسپاترینگ، منابع تغذیهDC&RF ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری، نگهدارنده نمونه ها و گرمکن تابشی زیرلایه ( تا ۷۰۰ درجه سلسیوس) و سایر تجهیزات جانبی خواهد بود که در مدت ۷ ماه به همت متخصصان گروه پژوهشی خلأ و مرکز خدمات تخصصی خلأبالا ساخته می شود.

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

این فیلد را پر کنید
این فیلد را پر کنید
لطفاً یک نشانی ایمیل معتبر بنویسید.