سیستم لایه نشانی تحت خلأ

اجزاء محصول:

  • سيستم لايه نشاني تبخير در خلأ بالا مجهز به منبع پرتو الكتروني (مدلهاي ETS وEDS)
  • سيستم لايه نشانيDC&RF مگنترون اسپاترينگ در خلأ بالا (مدل MSS)
  • سيستم لايه نشاني تبخیر با ليزر پالسي (مدل LTS)
  • سيستم ذوب ريسي در خلأ (Melt Spinner)
  • چشمه پرتو یون پهن رادیوفرکانسی و جریان مستقیم
  • منبع تبخير پرتوالكتروني مغناطيسی با توان ٣ كيلووات
  • منبع تبخير مقاومتي جريان بالا
  • فيدتروهای الكتريكي و مکانیکی
  • گرمكن هاي تابشي
  • نگهدارنده نمونه
  • كاتد مگنترون اسپاترينگ(DC & RF) با تارگت های قطر ٢ و ٣ اينچ
  • ضخامت سنج كريستالي كامپيوتري خنك شونده با آب و قابل انعطاف

کاربردها:

  • درفناوری نانو، اپتیک، میکروالکترونیک، ابررسانایی، فیلتر های نوری، اپتوالکترونیک، آینه های لیزر، لایه های دی الکترنیک، پوشش های سخت، پوشش های تزئینی

مرکز خدمات تخصصی مکاترونیک

گروه پژوهشی فناوری خلأ