کاربردها:
– نانوتکنولوژی
– اپتیک و الکترواپتیک
– میکروالکترونیک، ابررساناها، فیلترهای اپتیکی
– تجهیزات اپتیکی و آینه‌های لیزر
– لایه‌های دی‌الکتریک، پوشش‌های سخت و پوشش‌های تزئینی
مشخصات دستگاه:
– داراي صفحه كار و درب مستقل
– فشار نهایی: محدوده 10-6 میلی بار
– نوع عملکرد: نیمه اتوماتیک با انواع حفاظت‌ها
• تجهیزات نصب شده روی دستگاه:
– کاتد مگنترون اسپاترینگ (دو یا سه اینچ) جریان مستقیم
– کاتد مگنترون اسپاترینگ (دو یا سه اینچ) جریان متناوب(یکی از دو نوع کاتد جریان مستقیم یا جریان متناوب قابلیت نصب بر روی سیستم 100-MSS را دارا می‌باشند.)
– گرم‌کن نمونه تابشی با کنترلر دما تا دمای 700 درجه سانتیگراد
– ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری
– نگهدارنده نمونه چرخان خنک شونده با آب
– کاتد تمیزکاری پلاسمای موضعی