[vc_row][vc_column][vc_column_text]
چشمه یون منبعی است که با ایجاد پلاسما از گاز مورد نظر و استخراج یون از آن، پرتویی از یون های پرانرژی ایجاد می کند.
از انرژی و چگالی های مختلف یون در این زیر سیستم برای کاربردهایی نظیر لایه‌نشانی، کندو پاش، زدایش، بهبود کیفیت لایه و تمیزکاری استفاده می شود.
چشمه پرتوی یون برای اولین بار در ایران در سال 1391 توسط مرکز فناوری خلأ جهاددانشگاهی صنعتی شریف ساخته شده است و در حال حاضر دو نوع چشمه یون DC وRF توری دار از محصولات اصلی این مرکز هستند.
قطر پرتوی این چشمه های یون 6cm و بیشینه جریان یونی آنها 120mA و انرژی یون ها بین 50 تا 1200eV قابل تغییر است. بعلاوه این زیر سیستم قابلیت یونیزاسیون و ایجاد پرتوی یونی از گازهای مختلف برای بسیاری از کاربردها را دارد.
کاربردهای چشمه یون
- ساخت ادوات نیمه‌هادی
ساخت مدارات مجتمع- فوتونیک و اپتوالکترونیک
- ساخت چندلایههای اپتیکی دقیق
- ساخت لایه‌های ضد سایش و ضدخوردگی
- ساخت لایه‌های کاربردی در ادوات ذخیره سازی داده
ساخت مدارات مجتمع
مزایای چشمه یون در مقایسه با روش های لایه نشانی دیگر
- کنترل نوع یون (جرم و بار یون)
- کنترل مستقل چگالی و انرژی یون نسبت به سطح هدف یا زیرآیند
- جدا بودن فرآیند تولید یون از فرآیند مربوط به هدف یا زیرآیند
[/vc_column_text][/vc_column][/vc_row]
