چشمه یون منبعی است که با ایجاد پلاسما از گاز مورد نظر و استخراج یون از آن، پرتویی از یون­ های پرانرژی ایجاد می کند.
از انرژی و چگالی­ های مختلف یون در  این زیر سامانه برای کاربردهایی نظیر لایه ­نشانی، کندو پاش، زدایش، بهبود کیفیت لایه و تمیزکاری استفاده می­ شود.
چشمه پرتوی یون برای اولین بار در ایران در سال 1391 توسط مرکز فناوری خلأ جهاددانشگاهی صنعتی شریف ساخته شده است و در حال حاضر دو نوع چشمه یون DC وRF توری­ دار از محصولات اصلی این مرکز هستند.
قطر پرتوی این چشمه­ های یون 6cm و بیشینه جریان یونی آنها  120mA  و انرژی یون­ ها بین  50 تا  1200eV  قابل تغییر است. بعلاوه این زیر سامانه قابلیت یونیزاسیون و ایجاد پرتوی یونی از گازهای مختلف برای بسیاری از کاربردها را دارد.

 

کاربردهای چشمه یون

  • ساخت ادوات نیمه هادی
  • ساخت مدارات مجتمع
  • فوتونیک و اپتوالکترونیک
  • ساخت چندلایه ­های اپتیکی دقیق
  • ساخت لایه ­های ضد سایش و ضدخوردگی
  • ساخت لایه­ های کاربردی در ادوات ذخیره سازی داده

 

 

 

مزایای چشمه یون در مقایسه با روش­ های لایه­ نشانی دیگر

  • کنترل نوع یون (جرم و بار یون)
  • کنترل مستقل چگالی و انرژی یون نسبت به سطح هدف یا زیرآیند
  • جدا بودن فرآیند تولید یون از فرآیند مربوط به هدف یا زیرآیند
مطلب بعدی
معرفی سه نوع خلأسنج

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

این فیلد را پر کنید
این فیلد را پر کنید
لطفاً یک نشانی ایمیل معتبر بنویسید.

فهرست