چشمه یون منبعی است که با ایجاد پلاسما از گاز مورد نظر و استخراج یون از آن، پرتویی از یون­ های پرانرژی ایجاد می کند.
از انرژی و چگالی­ های مختلف یون در  این زیر سیستم برای کاربردهایی نظیر لایه‌نشانی، کندو پاش، زدایش، بهبود کیفیت لایه و تمیزکاری استفاده می­ شود.
چشمه پرتوی یون برای اولین بار در ایران در سال 1391 توسط مرکز فناوری خلأ جهاددانشگاهی صنعتی شریف ساخته شده است و در حال حاضر دو نوع چشمه یون DC وRF توری­ دار از محصولات اصلی این مرکز هستند.
قطر پرتوی این چشمه­ های یون 6cm و بیشینه جریان یونی آنها  120mA  و انرژی یون­ ها بین  50 تا  1200eV  قابل تغییر است. بعلاوه این زیر سیستم قابلیت یونیزاسیون و ایجاد پرتوی یونی از گازهای مختلف برای بسیاری از کاربردها را دارد.

 

کاربردهای چشمه یون

  • ساخت ادوات نیمه‌هادی
  • Spring ion Picture1ساخت مدارات مجتمع
  • فوتونیک و اپتوالکترونیک
  • ساخت چندلایه‌­های اپتیکی دقیق
  • ساخت لایه‌­های ضد سایش و ضدخوردگی
  • ساخت لایه‌های کاربردی در ادوات ذخیره سازی داده

 

 

 

مزایای چشمه یون در مقایسه با روش­ های لایه­ نشانی دیگر

  • کنترل نوع یون (جرم و بار یون) Spring ion Picture2
  • کنترل مستقل چگالی و انرژی یون نسبت به سطح هدف یا زیرآیند
  • جدا بودن فرآیند تولید یون از فرآیند مربوط به هدف یا زیرآیند

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

این فیلد را پر کنید
این فیلد را پر کنید
لطفاً یک نشانی ایمیل معتبر بنویسید.