به طور کلی نشت به افزایش فشار برحسب میلی‌بار در مدت یک ثانیه در محفظه‌ای به حجم یک لیتر گفته می‌شود و واحد آن mbar.lit/s است. مقدار نشت به خصوص نشت کاذب به فشار و دمای محیط بستگی دارد.
این مسأله را بایستی مد نظر قرار داد، که هیچ محفظه‌ی خلأ، بدون نشت وجود ندارد و اگر سیستم خلأ بدون اتصال به پمپ رها شود، پس از مدتی فشار آن بالا می‌رود. با توجه به فشار مورد انتظار در محفظه مقدار نشت مجاز برای سیستم خلأ تعریف می‌شود. براین اساس می‌توان مقدار افزایش فشار مجاز در یک بازه زمانی مشخص را تعیین کرد.
انواع نشت
نشت ممکن است واقعی، کاذب یا مجموع این دو باشد. نشت واقعی در اثر ورود گاز از خارج به داخل محفظه از سوراخ ریز یا درزهای ناخواسته ایجاد می‌شود. مقدار این نشت در طول زمان ثابت است و در یک شیب ثابت باعث بالا رفتن فشار می‌شود.
اما نشت کاذب در اثر گاززایی مواد داخل محفظه یا نفوذ گازهای بسیار ریز از بیرون به داخل محفظه یا تبخیر مواد با فشار بخار پایین در داخل محفظه و یا دلایل دیگر صورت می‌گیرد. مقدار نشر کاذب در طول زمان، با افزایش زمان پمپینگ کاهش و تاثیرش در افزایش فشار محفظه کاهش می‌یابد.
روش‌های اندازه‌گیری نشت
دو روش اصلی برای اندازه‌گیری میزان نشت یک سیستم خلأ وجود دارد. روش کم فشار و روش پر فشار.
در روش کم فشار که معمولاً برای بررسی نشتی در تجهیزات خلأ از آن استفاده می‌شود، محفظه تا فشار نهایی توسط پمپ‌های خلأ تخلیه می‌شود و سپس ارتباط محفظه از سیستم پمپینگ قطع می‌شود. در ادامه افزایش فشار در یک مدت زمان معین اندازه‌گیری شده و مقدار نشتی محفظه محاسبه می‌گردد. این روش دقت بالایی دارد اما آهنگ نشت محاسبه شده در این روش شامل مجموع نشت واقعی و کاذب است. برای پیدا کردن نشت واقعی می‌توان محفظه را سرد کرد تا نشت های‌کاذب تا حدودی حذف شوند.
در روش پر فشار محفظه در فشاری بالاتر از فشار اتمسفر قرار داده می شود. سپس در یک مدت زمان مشخص تغییرات فشار ثبت می‌شود. به این ترتیب می‌توان نرخ نشتی واقعی را بدست آورد. اما دقت این روش کمتر از روش کم فشار است و به علاوه برخی محفظه‌ها و قطعات امکان افزایش فشار ندارند و آسیب می‌بینند.
ردیابی محل نشت
برای پیدا کردن محل نشت روش‌های مختلفی وجود دارد که می‌توان به تست حباب، نشت‌یاب هالوژنی، نشت‌یاب هلیومی، استفاده از طیف‌سنج جرمی و نشت‌یاب کویل تسلا اشاره کرد.
اما یکی از ساده‌ترین روش‌ها پاشش سیالی با وزن جرمی متفاوت از هوا (غالباً الکل) به محل‌های احتمالی نشت و قرائت فشار با خلأسنج‌هایی که فشار خوانده شده در آنها به نوع گاز بستگی دارد (مثل خلأسنج پیرانی یا یونیزاسیون) است. در این حالت در صورت وجود نشتی، بسته به وزن جرمی سیال پاشیده شده به محل مورد بحث فشار ناگهان بالا یا پایین می‌رود.
یکی دیگر از روش‌های متداول مکان‌یابی نشت، استفاده از نشت‌یاب هلیومی است. که به دو صورت کم فشار و پرفشار قابل اجراست. در روش پرفشار محفظه مورد بررسی را از هلیوم پر کرده و سپس آشکارساز هلیومی را به نقاط مشکوک به نشت نزدیک می‌کنیم، در صورت نشت هلیوم نشت‌یاب هلیومی هشدار می‌دهد.
در روش کم فشار محفظه تحت بررسی را به صورت موازی به سیستم پمپینگ و نشت‌یاب هلیومی متصل کرده و سپس به نزدیکی نقاط مشکوک، هلیوم اسپری می‌کنید در صورت وجود نشتی در محفظه هلیوم به داخل محفظه رفته و توسط نشت‌یاب هلیومی شناسایی شده و هشدار داده می‌شود.