یکی از مهم­ترین اجزا در سامانه­ های تحت خلأ، خلأسنج­ ها هستند. خلأسنج ­ها بر اساس نوع عملکردشان در سه دسته بندی کلی خلأسنج­ های مکانیکی(بوردون، دیافراگمی، اسپین روتور)، خلأسنج های سیال مایع(توریچلی، مک لئود)، خلأسنج ­های الکتریکی(ترموکوپلی، پیرانی، کاتد سرد، کاتد گرم، طیف سنج، خازنی، پیزو) تقسیم ­بندی می­ شوند.

در این بخش به معرفی اجمالی سه خلأسنج رایج و کاربردی پیرانی، کاتد سرد و خازنی پرداخته شده است.

خلأسنج پیرانی

خلأسنج پیرانی

خلأسنج پیرانی

محدوده خلأ
از فشار اتمسفری تا 4-10 میلی بار

ساختمان و نحوه عملکرد

  • استفاده از فیلامان گرم
  • اندازه‌گیری مقاومت فیلامان

مزایای استفاده از خلأسنج پیرانی                                                            معایب استفاده از خلأسنج پیرانی

* مستقل از فشار محیط                                                                     * وابسته به نوع گاز

*مستقل از دمای محیط                                                                    * نیاز به منبع توان

*محدوده اندازه‌گیری گسترده‌                                                             * خوانش فشار بصورت غیرمستقیم

*قابل نصب در هر جهت                                                                   * حساس نسبت به ورود آلودگی و ضربه

* فاقد اجزاء مکانیکی

——————————————————————————————————————————————–

             بازه قابل اندازه گیری توسط خلأسنج های متداول

بازه قابل اندازه گیری توسط خلأسنج های متداول

 

 

با توجه به محدوده فشاری هر فرآیند لازم است که خلأسنج مناسبی انتخاب شود.
دقت اندازه گیری و وابستگی به دما و نوع گاز در برخی خلأسنج ها نیز از دیگر پارامترهایی است که در انتخاب خلأسنج نقش دارد.

 

 

 

 

————————————————————————————————————————————–

خلأسنج کاتد سرد

دسته­ ای از خلأسنج ­ها هستند که بر مبنای ایجاد یونیزاسیون در داخل گیج و اندازه ­گیری تعداد یون های ایجاد شده استوار است. اگر الکترون­ های ایجاد کننده یون با تخلیه الکتریکی تولید شوند، خلأسنج کاتد سرد (Cold Cathode)، و وقتی که الکترون­ها با کاتد گرم شده تولید شوند، خلأسنج کاتد گرم (Hot Cathode)  نامیده می­ شود.
امروزه خلأسنج کاتد سرد به علت آسیب­پذیری کمتر در مواجهه با ضربه و آلودگی، بیشتر از خلأسنج کاتد گرم مورد توجه کاربران قرار گرفته است.

محدوده خلأ
از فشار 1 تا 9-10 میلی بار

معایب استفاده از خلأسنج کاتد سرد                                      مزایای استفاده از خلأسنج کاتد سرد                                                          

*وابسته به نوع گاز                                                        * وابسته نبودن به فشار محیط

*شروع اندازه‌گیری از محدوده خلأ متوسط                           * استحکام و سهولت استفاده از آن

*نسبتاً گران                                                                 * اندازه‌گیری فشار خلأ بالا و خیلی بالا

*زمان راه‌اندازی بالا                                                       * سرویس و نگهداری نسبتا ساده

*نیاز به میدان مغناطیسی                                               * حساس نبودن به ضربه و لرزش

*نیاز به ولتاژ بالا (2تا 5 KV )

—————————————————————————————————————————-

خلأسنج خازنی

محدوده خلأ

  • از فشار بالاتر از فشار اتمسفری تا 5-10 میلی بار (بصورت پله‌ای)
  • دقت: 0/2% – 0/5%

ساختمان و نحوه عملکرد

  • عملکرد برپایه خلأسنج دیافراگمی
  • استفاده از ویژگی‌های فیزیکی خازن های الکتریکی

 

مزایای استفاده از خلأسنج خازنی                                          معایب استفاده از خلأسنج خازنی                       

*وابسته نبودن به فشار محیط                                            * گران قیمت

*وابسته نبودن به نوع گاز                                                  * حساس نسبت به لرزش و ضربه (دیافراگم سرامیکی)

*امکان نصب در هر جهت                                                 * حساس به ورود آلودگی

*دقت بالا                                                                     * گسستگی محدوده اندازه‌گیری

*نگهداری آسان                                                              * وابسته به دمای گاز

مطلب قبلی
معرفی چشمه یون

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

این فیلد را پر کنید
این فیلد را پر کنید
لطفاً یک نشانی ایمیل معتبر بنویسید.

فهرست