بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه نشانی به کمک پرتو یون

  1. طرح‌های گروه پژوهشی فناوری خلأ
  2. بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن (آزمایشگاهی پایدار) برای لایه نشانی به کمک پرتو یون

بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن(آزمایشگاهی پایدار) برای لایه نشانی به کمک پرتو یون