این مقاله با عنوان «کاربرد تئوری Mie و مدل فراکتال برای تعیین زبری اپتیکی و سطحی لایه‌های نازک Ag-Cu»

Application of Mie theory and fractal models to determine the optical and surface roughness of Ag–Cu thin films

در مجله الکترونیک نوری و کوانتومی منتشر شده است.

این مقاله توسط آقای علی آرمان از اعضای گروه پژوهشی فناوری خلأ سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف و آقای خلیل ساقی و خانم فاطمه حافظی از اعضا هیأت علمی این سازمان و دیگر همکارانشان تالیف و منتشر شده است.

در چکیده این مقاله آمده است: در مجله الکترونیک نوری و کوانتومی منتشر شده است.

در این تحقیق لایه‌های مس- نقره به روش کندوپاش مغناطیسی فعال در زمان‌های مختلف ۴ تا ۲۴ دقیقه بر روی زیرلایه‌های شیشه و سیلیکون ساخته شده‌اند. ساختار کریستالی و مورفولوژی لایه‌ها به ترتیب با استفاده از آنالیز XRD و AFM مورد بررسی و مطالعه قرار گرفت. چون پیچیدگی و مورفولوژی سطح ساختارهای نانو و میکرو غیر عادی را نمی‌توان تنها با استفاده از اندازه‌گیری‌هایی بر اساس هندسه‌ی سنتی کاملاً توصیف کرد.بنابراین چنین ساختارهای پیچیده‌ای با استفاده از هندسه‌ی فرکتال توصیف می‌گردد. بنابراین در این تحقیق اثر افزایش زمان لایه‌نشانی را بر سایز ذرات و مورفولوژِی سطح را با استفاده از تئوری مای و الگوریتم هیگوچی بر داده‌های حاصل از طیف اپتیکی و تصاویر میکروسکوپی سوار کرده و به محاسبه آنها پرداخته شده است.

همچنین نشان داده شده که با افزایش زمانی لایه‌نشانی، ابعاد ذرات افزایش و در مقابل از مقاومت لایه کاسته می‌شود.